Dispositivo de pulverização catódica

Dispositivo de pulverização catódica
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O dispositivo de pulverização catódica NorthGlass é produzido com um cátodo rotativo / planar, blocos de extremidade e uma barra magnética. Nós também fornecemos projetos personalizados e atualizações para revestimentos existentes que podem ser equipados com os componentes mencionados anteriormente.

Nós fabricamos cátodos rotativos únicos, cátodos rotativos duplos, cátodos planares simples e cátodos planares duplos. Cada componente de cátodo é composto de uma base de cátodo, tampa, unidade de distribuição de gás de processo, água e conexão de eletricidade, dispositivo de medição de vácuo, um sistema de controle altamente intuitivo, etc.

Bloco final

Nós fornecemos três séries de blocos de extremidade que incluem o EB-CAC, EB-CB e EB-CS para atender todas as demandas variando de nossos clientes. Todos os blocos de extremidade podem ser mantidos pelo seu pessoal operacional com um programa de treinamento rápido e alguma prática.

1. Série EB-CAC
Cada par de blocos de extremidade é constituído por uma extremidade matriz e uma extremidade de ligação água/eletricidade. A extremidade de condução é projetada para a rotação de alvo e o outro lado é conectar água e linhas elétricas para a unidade. Esta série é apropriada para nealy todos os cátodos em revestimentos simétricos.

Séries Tipo Frequência atual RPM Diâmetro do tubo alvo Comprimento do tubo alvo Tensão segura
EB-CAC Dupla extremidade ≤320A, ≤40kHZ ≤30r/min ≤155mm ≤3900mm < 1500V

2.Série EB-CB
Esta série dos blocos de extremidade é constituída por uma extremidade funcional e uma extremidade de suporte em cada par. A extremidade final é para rotação de alvo e conexão com água e linhas elétricas. O outro lado é a extremidade de suporte. Estes são adequados para revestimentos assimétricos.

Séries Tipo Frequência atual RPM Diâmetro do tubo alvo Comprimento do tubo alvo Tensão segura
EB-CB Fim único ≤320A, ≤40kHZ ≤30r/min ≤155mm ≤3900mm < 1500V

3. Série EB-CS
Esta série é composta por uma extremidade funcional e uma extremidade de suporte. A extremidade funcional é para rotação de alvo e conexão de água/eletricidade. A outra extremidade é um suporte final. Estes são adequados para revestimentos assimétricos.
A distância alvo-substrato pode ser facilmente ajustado devido ao método de instalação para baixo.

Séries Tipo Frequência atual RPM Diâmetro do tubo alvo Comprimento do tubo alvo Tensão segura
EB-CS Fim único ≤225A, ≤40kHZ ≤30r/min ≤155mm ≤2500mm < 1500V
Barra magnética série MB
Características técnicas:
  • O tubo de suporte de alumínio extrudido separa o íman e seu jugo da água de arrefecimento para proteger o campo magnético.
  • A uniformidade do campo magnético é controlado com precisão usando uma estrutura de rosca.
  • A água de resfriamento é ejetada do tubo alvo de alta temperatura, reduzindo imediatamente a temperatura.
  • Fácil instalar e manter.
Tipo Data MB3300 MB2540 MB1400
Comprimento da barra magnética ( mm ) 3850 3192 1920
Força magnética >550GS
Homogeneidade ≤±1.0%
Gama ajustável ≤±25%
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